甄耀言科技科技研發(fā)生產(chǎn)的氣浮隔振光學平臺，能夠滿足精密負載對振動隔離需求，且面向大多數(shù)設備儀器提供通用化隔振解決方案，改善振動環(huán)境，使用適合于顯微鏡、光路測試、光學測量、激光干涉、激光掃描、光譜實驗等領域應用。

【產(chǎn)品型號及命名規(guī)則】

【產(chǎn)品特點】

■甄耀言科技科技研發(fā)生產(chǎn)的精密氣浮光學平臺，能夠滿足精密負載對振動隔離需求，且面向大多數(shù)設備儀器提供通用化隔振解決方案，改善振動環(huán)境，以發(fā)揮設備儀器的最佳效能

■ 適合于顯微鏡、光路測試、光學測量、激光干涉、激光掃描、光譜實驗等領域應用

■優(yōu)異的隔振性能：內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備優(yōu)秀的固有頻率，對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設備儀器精度，提高儀器設備使用精度和使用效率

■ 自動調(diào)節(jié)水平功能：放置負載的位置發(fā)生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣 壓，自動保特水平。

■氣動元器件全部執(zhí)行德國FEST0產(chǎn)品，標配優(yōu)質(zhì)靜音壓縮機

■臺板采用SUS430優(yōu)質(zhì)高導磁不銹鋼，具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點，經(jīng)精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、亞光效果，面板具有6螺孔陣列，易于固定光學元件

■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成，整體堅固可靠

■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調(diào)壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作，用戶只需要將氣管連接進氣口，就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用

【技術指點】

■平面度:≤0.05mm

■減振效率：x方 向 < 5Hz時：88%~94% y方 向 < 5Hz時：86%~92%

■x方向<10Hz時：92%~98% y方向<10Hz時：90%~95%

■表面粗糙度：≤0.8μm

■固有頻率：x 方向：1.2Hz~2.0Hz y方向：1.2Hz~2.0H2

■振幅：<1.2 μm

■重復定位精度：±0.05mm

【產(chǎn)品選型表】